多晶金剛石和單晶金剛石拋光液哪個好?
金剛石拋光液的性能差異根源在于其磨料顆粒的微觀結(jié)構(gòu)。多晶金剛石(又稱聚晶金剛石)由納米級金剛石微晶聚合而成,形成具有多棱面結(jié)構(gòu)的顆粒;而單晶金剛石則是完整的單晶體結(jié)構(gòu),具有規(guī)則的幾何外形和一致的晶體取向。這種結(jié)構(gòu)差異直接導(dǎo)致了兩類拋光液在硬度、形貌和耐磨性方面的不同表現(xiàn)。
一、單晶金剛石VS多晶金剛石的顆粒形貌與切削機(jī)理:
單晶金剛石磨粒棱角尖銳,初期切削速率高,但磨損后效率下降明顯,4小時拋光去除率波動±15%。
多晶金剛石顆粒因微晶隨機(jī)取向,持續(xù)暴露新切削面,自銳性強(qiáng),去除率波動僅 ±5%,更穩(wěn)定。
二、單晶金剛石VS多晶金剛石的硬度與耐磨性:
宏觀硬度相近,但多晶金剛石的微晶邊界阻礙裂紋擴(kuò)展,耐用性更優(yōu)。1μm粒徑下,多晶磨粒壽命是單晶金剛石的2-3 倍,適合長時間連續(xù)作業(yè)。
三、單晶金剛石VS多晶金剛石的表面質(zhì)量:
單晶易產(chǎn)生較深劃痕,表面粗糙度Ra10-20nm。
多晶多點接觸,劃痕細(xì)密,Ra可控制在5nm 以下;藍(lán)寶石襯底測試顯示,其表面損傷層厚度比單晶減少約 30%,更適用于光學(xué)和半導(dǎo)體領(lǐng)域。
材料特性:超硬材料(藍(lán)寶石、碳化硅等)且要求Ra<5nm時,優(yōu)先選多晶金剛石拋光液;硬質(zhì)合金等高硬材料時,單晶金剛石的初始切削力更高效。高熱導(dǎo)材料(如碳化硅)宜用油基多晶控溫。
工藝階段:粗拋用單晶金剛石研磨液(高切削力),中拋選多晶金剛石拋光液(平衡效率與質(zhì)量),精拋過渡到氧化硅等軟磨料。如藍(lán)寶石 “三步法”:6μm單晶(粗拋)→3μm多晶(中拋)→納米氧化硅(精拋)。
表面質(zhì)量:光學(xué)應(yīng)用(LED藍(lán)寶石襯底等)需多晶以減少亞表面損傷;機(jī)械件等 Ra>20nm 場景,單晶成本更優(yōu)。半導(dǎo)體領(lǐng)域?qū)Υ謷伇砻尜|(zhì)量要求提升,多晶金剛石拋光液應(yīng)用漸廣。
成本效益:單晶金剛石單價低,但多晶金剛石綜合成本更優(yōu)。某半導(dǎo)體廠案例顯示,多晶金剛石拋光液雖然采購價格較高=高 ,綜合考量下,能延長拋光墊壽命、縮短精拋時間、提高良率,使加工成本降18%。
作為專業(yè)的CMP材料供應(yīng)商,吉致電子始終聚焦半導(dǎo)體與光學(xué)行業(yè)不斷升級的加工需求,憑借持續(xù)的技術(shù)創(chuàng)新突破金剛石拋光液的性能上限。公司研發(fā)團(tuán)隊研究多晶與單晶金剛石拋光液的特性差異,針對性開發(fā)出多項核心技術(shù),助力產(chǎn)品在同類市場中形成顯著競爭優(yōu)勢。
針對多晶金剛石拋光液,通過優(yōu)化微晶聚合工藝與分散技術(shù),進(jìn)一步增強(qiáng)其自銳性與穩(wěn)定性,使材料去除率波動控制在更精細(xì)范圍,同時讓表面粗糙度(Ra)持續(xù)穩(wěn)定在5nm以下,滿足高精度光學(xué)元件加工需求。對于單晶金剛石拋光液,則通過改良顆粒形貌控制技術(shù),在保持高初始切削力的基礎(chǔ)上,延緩切削刃磨損速度,提升其在粗拋階段的效率持久性。這些技術(shù)創(chuàng)新讓吉致電子的金剛石拋光液能更好適配不同材料、工藝階段的加工要求,為客戶提供更優(yōu)質(zhì)的CMP解決方案。
如需定制1V1專屬CMP拋光解決方案及產(chǎn)品搭配,歡迎聯(lián)系吉致電子技術(shù)團(tuán)隊
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