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碲鋅鎘CZT單晶襯底拋光液CMP Slurry

文章出處:責(zé)任編輯:人氣:-發(fā)表時間:2025-07-31 16:50【

碲鋅鎘(CdZnTe,CZT)晶體屬于典型的軟脆晶體,其力學(xué)特性介于軟質(zhì)和脆性材料之間。

軟脆晶體的定義與特征:

軟質(zhì)材料:硬度較低(莫氏硬度約2.0–2.5,接近石膏或滑石),易劃傷或塑性變形。

脆性材料:斷裂韌性低,易產(chǎn)生裂紋或解理斷裂(類似玻璃或硅)。

碲鋅鎘襯底研磨液吉致電子半導(dǎo)體拋光液

CZT同時具備這兩種特性,屬于軟而脆的半導(dǎo)體晶體。CdZnTe單晶襯底加工困難切割、拋光過程中易產(chǎn)生裂紋、邊緣崩缺或表面損傷。

吉致電子的碲鋅鎘(CdZnTe)單晶襯底拋光液針對CZT材料軟脆、易損傷及表面高要求的特點,采用低損傷納米磨料技術(shù)(如超細(xì)膠體SiO2)和智能平衡配方,在保證高效去除率的同時實現(xiàn)原子級光滑表面和亞納米級損傷層。

碲鋅鎘單晶襯底CMP研磨示意圖

CZT碲鋅鎘CMP拋光液Slurry其優(yōu)勢在于:通過金屬絡(luò)合劑和表面活性劑優(yōu)化抑制富Te層與缺陷,確?;瘜W(xué)計量比穩(wěn)定;寬工藝窗口適配多種設(shè)備參數(shù),且環(huán)保設(shè)計降低廢液處理難度。適用拋光液后顯著提升HgCdTe外延質(zhì)量與器件良率,同時以長壽命、高穩(wěn)定性減少綜合成本,是高性能紅外及輻射探測器襯底制備的理想選擇。CMP拋光液具體參數(shù)需以吉致電子官方技術(shù)文檔為準(zhǔn)。若需評估樣品,可按要求提供適配您襯底規(guī)格(晶向、Zn含量)的定制化方案。

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