吉致資訊第123期 如何正確選擇合適的拋光液
拋光液的性能直接影響到拋光后工件的表面質(zhì)量,拋光液一般包括細(xì)的固體磨粒、表面活性劑以及氧化劑和穩(wěn)定劑等幾部分,其中固體磨粒產(chǎn)生切削作用,去除發(fā)生化學(xué)變化需要切除的部位,氧化劑產(chǎn)生化學(xué)腐蝕溶解作用,溶解切屑。在拋光過程中,拋光液中磨粒的種類、形狀、大小、濃度、化學(xué)成分、PH值、粘度、流速和流動(dòng)的途徑都會(huì)對(duì)去除速度產(chǎn)生影響。
對(duì)不同材料的工件進(jìn)行拋光時(shí),所需要拋光液的成份、PH值也不盡相同。PH值影響工件的表面質(zhì)量和去除率表現(xiàn)在對(duì)磨料的溶解度、被拋表面刻蝕及氧化膜的形成、懸浮度等方面,因此需要嚴(yán)格控制拋光液的PH值。當(dāng)處于拋光氧化物時(shí),拋光液一般選取SiO:作為磨料,PH值控制在10以上;而拋光金屬時(shí),拋光液一般選用酸性的,保證PH值在較小的數(shù)值,以便保持高的工件去除率。
磨粒按硬度可分為軟磨粒和硬磨粒兩類,拋光用磨粒具有下列性能:
1、磨粒形狀和尺寸均勻一致,保持在一定范圍內(nèi)。
2、磨粒的熔點(diǎn)要比工件的熔點(diǎn)高。
3、磨粒能適當(dāng)?shù)仄扑椋骨腥凶冧h利。
4、磨粒在拋光中容易分散。
一般情況下,當(dāng)磨粒硬度及尺寸增加時(shí),工件去除率增加,但同時(shí)劃痕增加,工件的表面質(zhì)量下降;而磨粒的尺寸過小時(shí)又容易產(chǎn)生凝聚成團(tuán)的現(xiàn)象,增加工件表面的劃痕。當(dāng)拋光液中磨粒濃度增加時(shí),工件去除率也隨時(shí)增加。但當(dāng)磨粒的濃度達(dá)到某一數(shù)值時(shí),工件去除率也將停止增加,維持在某一常數(shù),這種現(xiàn)象稱為材料去除飽和,但是由于磨粒濃度增加,工件表面的劃痕反而增加,表面質(zhì)量下降。
研究拋光液的目的是為了找到去除率高、平面度好、膜厚度均勻性好的拋光液,達(dá)到化學(xué)機(jī)械拋光作用的完好組合。另外,拋光液的選取還需要考慮對(duì)拋光機(jī)的腐蝕性、易清洗性、廢料的處理費(fèi)用及安全性問題。針對(duì)不斷出現(xiàn)的新課題,前進(jìn)中的吉致公司也在不斷探索、研發(fā)更優(yōu)良的拋光液,為拋光行業(yè)貢獻(xiàn)自己的一份力量。
━━━━━━━━━━━━━━━◆分割線◆━━━━━━━━━━━━━━━
『拋光皮』
拋光皮種類:阻尼布拋光皮,聚氨酯拋光皮,白磨皮拋光皮
『拋光液』
拋光液種類:氧化硅拋光液,氧化鋁拋光液,金剛石拋光液
『吉致電子』拋光材料 源頭廠家 25年專注CMP拋光材料研發(fā)與生產(chǎn)
高速拋磨精密表面 高效·環(huán)保·安全
轉(zhuǎn)載需附出處及原文鏈接 http://m.lygpingan.cn/
無錫吉致電子科技有限公司
咨詢熱線:17706168670
相關(guān)資訊
最新產(chǎn)品
同類文章排行
- 吉致電子榮獲第四屆亞太碳化硅及相關(guān)材料國際會(huì)議“優(yōu)秀組織獎(jiǎng)”
- 吉致電子科技碳化硅研磨液的作用
- 吉致電子手機(jī)中框拋光液及智能穿戴設(shè)備表面處理
- 藍(lán)寶石襯底研磨用什么拋光液
- 半導(dǎo)體先進(jìn)制程PAD拋光墊國產(chǎn)替代進(jìn)行中
- CMP在半導(dǎo)體晶圓制程中的作用
- TSV拋光液---半導(dǎo)體3D封裝技術(shù)Slurry
- 藍(lán)寶石窗口平面加工--藍(lán)寶石研磨液
- 什么是OX研磨液?吉致電子氧化層拋光液性能有哪些?
- 半導(dǎo)體行業(yè)CMP化學(xué)機(jī)械平坦化工藝Slurry