藍(lán)寶石拋光液是不是二氧化硅拋光液？

藍(lán)寶石拋光液是以高純度硅粉為原料，經(jīng)特殊工藝制備成的一種低金屬離子CMP拋光液，是一種高純度的氧化硅拋光液，廣泛應(yīng)用于多種材料的納米級高平坦化拋光，是Wafer減薄拋光液拋光漿料slurry。

吉致電子生產(chǎn)的藍(lán)寶石拋光液主要用于藍(lán)寶石襯底研磨減薄，藍(lán)寶石A向拋光液，藍(lán)寶石C向拋光液等。拋光范圍如：硅片、鍺片、化合物晶體磷化銦、砷化鎵、精密光學(xué)器件、寶石飾品、金屬鏡面等研磨拋光加工。

藍(lán)寶石拋光液Sapphire Slurry的特點(diǎn)：

1.高純度（Cu含量小于50 ppb），有效減少對電子類產(chǎn)品的污染。

2.高拋光速率，利用大粒徑的膠體二氧化硅粒子達(dá)到高速拋光的目的。

3.高平坦度加工，藍(lán)寶石CMP拋光液是利用SiO2的膠體粒子進(jìn)行拋光，不會對加工件造成物理損傷，達(dá)到高平坦化加工。

藍(lán)寶石拋光液根據(jù)pH值的不同可分為酸性拋光液和堿性拋光液，吉致電子研發(fā)工程師可根據(jù)客戶具體需求定制配液，達(dá)到理想拋光效果。

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