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吉致電子--氧化硅拋光液/硅溶膠拋光液
產(chǎn)品名稱(chēng):氧化硅拋光液/硅溶膠拋光液/氧化硅懸浮液/硅拋光液/二氧化硅拋光液
磨料類(lèi)型:高純納米氧化硅微粒
磨料粒徑:10-150nm(最高可達(dá)150nm)
產(chǎn)品特點(diǎn):吉致氧化硅拋光液懸浮性佳,化學(xué)性能穩(wěn)定,拋光工件效率高、工時(shí)短、無(wú)劃傷。
氧化硅拋光液·參數(shù)吉致電子,CMP拋光材料 可定制·速率高·效果好·專(zhuān)利配方CUSTOMIZABLE, HIGH SPEED, GOOD EFFECT AND PATENTED FORMULA
產(chǎn)品名稱(chēng):氧化硅拋光液,硅溶膠拋光液,二氧化硅拋光液,精拋液,納米拋光液
磨料類(lèi)型:高純納米氧化硅微粒
磨料粒徑:10-150nm(最高可達(dá)150nm)
吉致電子氧化硅拋光液懸浮性極佳,高固含量、分散性好,易搖散且不團(tuán)聚,化學(xué)性能穩(wěn)定。氧化硅精拋液拋光效率高,能有效縮短工時(shí),磨拋后工件呈現(xiàn)鏡面效果,無(wú)劃傷、高平坦。
產(chǎn)品工藝及用途:通過(guò)離子交換法和水解法制備不同粒徑的穩(wěn)定硅溶膠,經(jīng)鈍化添加化學(xué)助劑以及特殊工藝配制的二氧化硅拋光漿料。適用集成電路/半導(dǎo)體/特殊材料/金屬材質(zhì)/脆硬材料的鏡面拋光。
氧化硅拋光液·晶體形態(tài)
可按客戶(hù)工藝要求調(diào)制硅溶膠拋光漿料
氧化硅拋光液——二氧化硅微粒在拋光工件表面的損傷層極微,硬度和硅片的硬度相近,常用于半導(dǎo)體硅片的拋光。
氧化硅精拋液——采用納米級(jí)的硅溶膠有效減小表面粗糙度和損傷層深度。
二氧化硅(SiO2)是硅溶膠拋光液的重要組成部分,其粒徑大小、致密度、分散度等因素直接影響化學(xué)機(jī)械拋光的速率和拋光質(zhì)量。
<吉致電子>氧化硅拋光液特點(diǎn):
1.分散性好、不結(jié)晶。
2.粒徑分布廣泛:5-100nm。
3.高純度(Cu2+含量小于50 ppb),有效減小對(duì)電子類(lèi)產(chǎn)品的沾污。
4.經(jīng)特殊工藝合成的化學(xué)機(jī)械拋光液,納米顆粒呈球形,單分散,大小均勻,粒徑分布窄,可獲得高質(zhì)量的拋光精度。
5.適合與各種拋光墊、合成材料配合拋光使用。
6.PH、粒徑、穩(wěn)定離子等可以根據(jù)客戶(hù)定制(10-150 nm)
拋光過(guò)程中具有:
1.高拋光速率,利用大粒徑的膠體二氧化硅粒子達(dá)到高速拋光的目的。(可以生產(chǎn)150 nm)。
2.高平坦度加工,吉致氧化硅精拋液是利用SiO2的膠體粒子,不會(huì)對(duì)加工件造成物理?yè)p傷,達(dá)到高平坦化加工。
拋光過(guò)程后具有:
1.精度可以達(dá)到納米
2.劃傷和挖傷可以達(dá)到0/0
氧化硅拋光液·產(chǎn)品參數(shù)
吉致電子氧化硅拋光液/硅溶膠精拋液
多種型號(hào)對(duì)應(yīng)不同磨拋需求(查看更多型號(hào)請(qǐng)聯(lián)系我們)
吉致電子CMP拋光材料--氧化硅拋光液產(chǎn)品規(guī)格 | ||||||
型號(hào)/Type | JZ-S40N | JZ-S60N | JZ-S80N | JZ-S100N | JZ-S120N | JZ-S150N |
磨料 | SiO2 | SiO2 | SiO2 | SiO2 | SiO2 | SiO2 |
平均粒徑 | 40nm | 60nm | 80nm | 100nm | 120nm | 150nm |
PH | 8-12 | 8-12 | 8-12 | 8-12 | 8-12 | 8-12 |
定制/現(xiàn)貨 | 除上述規(guī)格外,吉致電子拋光液可根據(jù)客戶(hù)不同工件磨拋要求調(diào)配定制 |
拋光液物性表 | |||
主要成分: | 外觀: | 密度: | pH值: |
SiO2 | 白色液體 | 1.15±0.05 | 9.8±0.5 |
拋光溫度: | 稀釋率<1: | 拋光壓力: | |
10~38℃ | 1~10 | 150~250g/cm&sup2 |
吉致電子氧化硅拋光液使用方法:
1.可根據(jù)拋光操作條件用去離子水進(jìn)行5-20倍稀釋。
2.稀釋后,粗拋時(shí)調(diào)節(jié)PH11左右,精拋時(shí)調(diào)節(jié)PH9.5左右。pH調(diào)節(jié)可以用10%的鹽酸、醋酸、檸檬酸、KOH或氨水在充分?jǐn)嚢柘侣尤搿?/p>
3.循環(huán)拋光可以用原液。
吉致電子氧化硅拋光液儲(chǔ)存方法:
1.貯存時(shí)應(yīng)避免曝曬,貯存溫度為5-35℃
2.低于0℃以上儲(chǔ)存,防止結(jié)冰,在無(wú)度以下因產(chǎn)生不可再分散結(jié)塊而失效。
3.避免敞口長(zhǎng)期與空氣接觸。
吉致電子氧化硅拋光液價(jià)格:
吉致電子的氧化硅拋光液生產(chǎn)技術(shù)是引進(jìn)國(guó)外生產(chǎn)技術(shù)和設(shè)備,特殊化學(xué)配方制備而成。吉致電子拋光液品質(zhì)可以媲美進(jìn)口同類(lèi)產(chǎn)品。
本土化生產(chǎn)的優(yōu)勢(shì)使吉致電子CMP拋光液產(chǎn)品交貨周期快,品質(zhì)好,拋光液價(jià)格實(shí)惠親民。
吉致電子研發(fā)團(tuán)隊(duì)--15年經(jīng)驗(yàn)CMP拋光液配方工程師,為您攻克拋光難題!
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