吉致電子淺槽隔離拋光液怎么用
吉致電子淺槽隔離拋光液適用范圍:單晶硅、多晶硅的研磨拋光,存儲器制程和背照式傳感器(BSI)制程等。
STI Slurry 適用于集成電路當中的銅互連工藝制程中銅的去除和平坦化。具有高的銅去除速率,碟型凹陷可調,低缺陷等特性??蓱糜谶壿嬓酒约?D NAND和DRAM芯片等量產使用。清除集成電路中銅拋光后表面的拋光顆粒和化學物殘留,以防銅表面腐蝕,降低表面缺陷。
可定制選擇穩(wěn)定的選擇比,去除速率,對氧化物/氮化物的選擇比。硅精拋液系列具有低缺陷的優(yōu)點。BSI拋光液系列具有理想的硅和二氧化硅去除速率和選擇比。
吉致電子淺槽隔離拋光液涵蓋TSV銅/阻擋層Slurry,TSV晶背銅/介質層拋Slurry、TSV晶背硅Slurry、TSV晶背硅/銅Slurry等。具有高去除速率、選擇比可調等優(yōu)點。以及集成電路制造工藝中淺槽隔離的拋光等等。
本文由無錫吉致電子科技原創(chuàng),版權歸無錫吉致電子科技,未經(jīng)允許,不得轉載,轉載需附出處及原文鏈接。http://m.lygpingan.cn/
無錫吉致電子科技有限公司
聯(lián)系電話:17706168670
郵編:214000
地址:江蘇省無錫市新吳區(qū)行創(chuàng)四路19-2
下一篇:不銹鋼拋光液的CMP鏡面拋光上一篇:吉致電子CMP不銹鋼拋光液的特點
相關資訊
最新產品
同類文章排行
- 吉致電子碳化硅SiC拋光液的作用
- 半導體襯底拋光工藝---磷化銦InP拋光液
- 吉致電子--單晶金剛石研磨液的用途
- 生物芯片拋光---吉致碳酸鈣拋光液
- 吉致電子--磨具拋光液 配油盤加工拋光
- 吉致電子 Diamond slurry多晶金剛石研磨液
- 吉致電子---常見的半導體研磨液有哪些
- 第三代半導體材料--碳化硅晶圓SiC拋光液
- 吉致電子手機取卡針拋光液
- CMP拋光液---納米氧化鈰拋光液的優(yōu)點