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吉致電子拋光材料 源頭廠家
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[吉致動(dòng)態(tài)]吉致電子--磷化銦拋光液在半導(dǎo)體CMP制程中的應(yīng)用[ 2024-12-05 16:20 ]
無錫吉致電子科技提供的磷化銦襯底拋光液是一種專門用于半導(dǎo)體材料磷化銦表面處理的CMP化學(xué)機(jī)械拋光漿料。它包含特定的磨料和化學(xué)成分,能夠有效去除磷化銦表面的微小缺陷和不平整,確保獲得光滑、無損傷的表面。磷化銦拋光液在半導(dǎo)體制造過程中非常重要,它直接影響到最終器件的性能和穩(wěn)定性。磷化銦襯底拋光液的選擇和使用是一個(gè)復(fù)雜的過程,需要綜合考慮多個(gè)因素,且在CMP拋磨使用時(shí),需要根據(jù)磷化銦襯底的具體要求和拋光設(shè)備的特性來選擇合適的InP拋光液,并嚴(yán)格控制拋光過程中的參數(shù),如溫度、壓力和拋光時(shí)間等。首先,磷化銦CMP拋光液的成分
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