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[常見問題]CMP工藝中油性金剛石與水性金剛石研磨液的差異及應(yīng)用解析[ 2025-09-10 09:03 ]
CMP工藝中油性與水性金剛石研磨液的差異及應(yīng)用解析在CMP化學(xué)機(jī)械工藝中研磨液作為核心耗材,直接影響工件的拋光效率、表面質(zhì)量及生產(chǎn)成本。其中,油性金剛拋光液與水性金剛石研磨液憑借各自獨特的性能特點,在不同加工場景中發(fā)揮著重要作用。吉致電子小編將從成分、性能及應(yīng)用場景三方面,深入解析兩者的差異,為行業(yè)應(yīng)用提供參考。一、核心成分差異研磨液的基礎(chǔ)成分決定了其基本特性,油性與水性金剛石研磨液在分散介質(zhì)及輔助添加劑上存在顯著區(qū)別:油性金剛拋光液:以油類(如酒精基、礦物油基等)為主要分散介質(zhì),配合潤滑劑、防銹劑及金剛石磨粒組成
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